Yıldırım, Ender; Akın, Tayfun; Arıkan, M. A. Sahir
(Çankaya Üniversitesi, 2012)
Mikro elektromekanik sistemlerde kullanılan malzemelerin mekanik özelliklerinin, üretim yöntemleri nedeniyle, mikro boyuttaki test yapılarıyla tespit edilmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, eyleyici, test numunesi ve ölçüm ...