This paper presents an electrostatically actuated, normally closed microvalve for parylene microfluidics. The proposed valve structure isolates the fluid from the electric field, and hence results in relatively low actuation ...

Mikro elektromekanik sistemlerde kullanılan malzemelerin mekanik özelliklerinin, üretim yöntemleri nedeniyle, mikro boyuttaki test yapılarıyla tespit edilmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, eyleyici, test numunesi ve ölçüm ...